CVI (Chemical Vapor Infiltration)

Posted by ENERGYN
2014.07.17 11:34 생산제품/CVI (Chemical Vapor Infiltration)

 

 ECVI Series (ENERGYN Chemical Vapor Infiltration)


에너진(주)의 ECVI 시리즈는 다양한 형상을 갖는 C-SiC Composite의 제조, C, C-SiC 고순화 처리를 위한 

장비입니다. 일반적인 CVD장비가 표면에만 코팅되는 것과는 달리, 인위적인 열구배를 통해 생산하려는 프리폼 

소재 내부에서부터 CVD반응에 의해 침착됨으로써 상당한 두께를 가지는 치밀한 제품을 얻을 수 있습니다.


※ 본 장비는 C/C, RBSC(Reaction Bonded Silicon Carbide) 생산 설비 등으로도 응용할 수 있습니다.


Represent Model Specs (ETGCVI-350)

 

ETGCVI-350

유효공간 (Hot zone, 최대 제품치수)

Dia350 x 500H mm, 수직형

제 품 구 동

회전(~10rpm) 및 상하 이송(~5mm/min, st500mm)

   

고주파유도가열(IGBT, 250kW, ~20kHz)

TG CVI Reactor

Quatz Tube

SiC source

MTS(methyltrichlorosilane) Vaporizer

설 비 온 도

최대 1,900℃, 상용1,300℃ (Option 최대 3,000℃)

도 달 진 공 도 

5x10E-4 torr

상용 압력범위

10~100torr(CDG 측정)

투입가스 제어

4 chanel MFC

배기가스 제어

유량조절 진공밸브

배 기 장 치

내화학 진공펌프 유니트

제 어 방 법

SCADA, HMI

유해 가스 검출 장치

Cl, HCl 디텍터 적용

 

에너진(주)는 고객이 원하는 사양의 장비 및 Processing Solution을 제공합니다.


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